扩散泵的工作原理通常基于蒸汽射流的输送能力。泵送速度范围为3,000磅至50,000L / s,并且具有<10的工作压力范围-2到10-7mbar。
DIJ系列扩散泵是一种5级油扩散泵,提高了气体流量,高压稳定在>10范围内-3mbar。泵送速度范围为2,400升至33,000升,具有<10的操作范围-1到10-7mbar。
油压泵(OB)具有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射阶段。泵送速度范围为6,000至18,000升/秒,其工作压力范围为10-1<10-4mbar。