확산펌프의작동원리는일반적으로기체에대한증기제트의이송능력에기초합니다。펌핑속도는3000 l / s ~ 50000 l / s이며작동압력범위는< 10 ~ 10 - 7 mbar结果입니다。
확산펌프의DIJ시리즈는향상된가스처리량과> 10-3mbar범위의안정적인고압력을갖춘5단계오일확산펌프입니다。펌핑속도는2400 l / s에서33000 l / s이며작동범위는< 10 - 1 ~ 10 7 mbar입니다。
