扩散泵的工作原理通常基于蒸汽射流的输送能力。泵送速度范围为3,000磅至50,000L / s,并具有<10的工作压力范围-2到10.-7mbar。
DIJ系列的扩散泵是5级油扩散泵,气体通量提高,高压在> 10的范围内-3mbar。泵送速度范围为2,400磅至33,000升,并具有<10的操作范围-1到10.-7mbar。
油压泵(OB)具有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射阶段。泵送速度范围为6,000至18,000 L / s,其工作压力范围为10-1<10-4mbar。