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浸油拡散ポンプ拡散ポンプの動作原理は一般に期待に対する蒸気噴流の輸送能力に基づいています。排気速度は3000 l / sから50000 l / sの範囲で,10－２から10－7mbar以下の動作圧力範囲です。
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DIJ油拡散ポンプDIJシリーズの拡散ポンプは改良されたガス処理量と三分mbar以上の範囲の安定した高圧を備えた5段式油拡散ポンプです。排気速度は2400 l / sから33000 l / sの範囲で,10－１から10－7mbar以下の動作範囲です。
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OB油拡散ポンプオイルブースターポンプ(OB)は1または4段以上のノズルシステムと1以上のジェットステージを有しています。6000年排気速度はから18000 ls /の範囲で,10－１から10－４mbarの動作圧力範囲です。
