真空油扩散泵

DIP油扩散泵

扩散泵的工作原理一般取决于蒸气射流对气体的输送能力。泵送速度范围为3,000 l/s ~ 50,000 l/s，工作压力范围< 10^－2到10^－7mbar。

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DIJ油扩散泵

DIJ系列扩散泵是一种5级油扩散泵，提高了气体流量，高压稳定在>10范围内^－3mbar。泵送速度2400 l/s ~ 33,000 l/s，工作范围< 10^－1到10^－7mbar。

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OB油扩散泵

油增压泵(OB)有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射级。泵送速度范围从6000到18000升/秒，工作压力范围从10^－1< 10^－4mbar。