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基于晶体硅晶片的模块

干燥压缩真空泵与根部鼓风机组合

  • 高泵送速度
  • 高可靠性
  • 适用于要求苛刻的工艺应用（灰尘，蒸气等）
  • 监视系统

涡轮分子泵

  • 适合处理粒子
  • 高耐受性耐受性
  • 在任何方向上安装

单级旋转叶片泵与根部鼓风机组合

  • 专为快速排放而设计
  • 装载锁和转移室
  • 用于粗糙真空范围的鲁棒真空发电机
  • 高可靠性
  • 优化成本
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