关于我们 공급업체

결정질실리콘웨이퍼기반모듈

루츠송풍기와조합된건조압축진공펌프

  • 높은펌핑속도
  • 높은신뢰성
  • 까다로운프로세스에적합(먼지,증기등)
  • 모니터링시스템

터보분자펌프

  • 입자처리에적합
  • 높은전진공내성
  • 모든방향으로설치

단일단계로터리베인펌프와루츠송풍기의조합。

  • 빠른펌프다운을위한설계
  • 로드록및전달챔버
  • 예비진공범위를위한견고한진공발생장치
  • 높은신뢰성
  • 비용최적화
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