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터보분자펌프및루츠송풍기의압축

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Christian Beyer和Gerhard Voss的涡轮分子泵

摘自“VakuumPumpen (Gastransfervakuumpumpen)”这本书，由出版社和图库W.H. Faragallah出版，Im Haindell 47, 65843 Sulzbach (Taunus) -德国

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关于经典的涡轮分子泵的压缩-由Gerhard Voss

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누출감지도입

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볼프강게데,현대진공기술의개척자

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