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基于晶片的模块

螺旋线/干式真空
涡轮真空磁力计
索格瓦茨

与罗茨鼓风机组合的干式压缩真空泵

高抽速
高可靠性
适用于要求苛刻的工艺应用（灰尘、蒸汽等）
监测系统

涡轮分子泵

适合处理颗粒
高真空耐受性
任何方向的安装

与罗茨鼓风机组合的单级旋转叶片泵

设计用于快速泵送
负载锁定和传输室
适用于粗糙真空范围的坚固真空发生器
高可靠性
成本优化

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