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基于晶圆片的晶体硅模块

干燥压缩真空泵与罗茨鼓风机的组合

  • 高泵送速度
  • 高可靠性
  • 适用于高要求的工艺应用(粉尘，蒸汽等)
  • 监视系统

涡轮分子泵

  • 适合处理粒子
  • 前级真空高公差
  • 任意方位安装

单级旋转叶片泵与根部鼓风机组合

  • 专为快速排放而设计
  • 装载锁和转移室
  • 坚固的真空发生器用于粗真空范围
  • 高可靠性
  • 优化成本
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