真空油扩散泵

DIP油扩散泵

扩散泵的工作原理通常基于蒸汽射流对气体的输送能力。泵送速度范围为3000 l/s至50000 l/s，工作压力范围<10^-2到10^-7mbar。

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DIJ油扩散泵

DIJ系列扩散泵是一种5级油扩散泵，提高了气体流量，高压稳定在>10范围内^-3mbar。泵送速度范围为2400 l/s至33000 l/s，工作范围<10^-1到10^-7mbar。

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OB油扩散泵

机油增压泵（OB）有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射级。泵速范围为6000至18000 l/s，工作压力范围为10^-1至<10^-4mbar。