乾式真空幫浦，與魯式幫浦系統
◾高抽速
◾可靠度高
◾適用於要求苛刻的製程應用(粉塵,製程氣體等)
◾監控系統
渦輪分子幫浦
◾適合於處理粒子
◾高前級真空耐受壓力
◾可任意方向安裝
單級油式旋葉幫浦與魯式幫浦系統
◾專為负载锁的快速抽空而設計
◾用於中真空範圍的穩定真空產生裝置
◾高可靠性
◾成本優化
乾式真空幫浦，與魯式幫浦系統
◾高抽速
◾可靠度高
◾適用於要求苛刻的製程應用(粉塵,製程氣體等)
◾監控系統
渦輪分子幫浦
◾適合於處理粒子
◾高前級真空耐受壓力
◾可任意方向安裝
單級油式旋葉幫浦與魯式幫浦系統
◾專為负载锁的快速抽空而設計
◾用於中真空範圍的穩定真空產生裝置
◾高可靠性
◾成本優化