ルートブロワーと組み合わせたドライ圧縮真空ポンプ
- 高いポンプの排気速度
- 高い信頼性
- 要求の厳しい用途のプロセス(埃,蒸気,など)に適している
- 監視システム
ターボ分子ポンプ
- 粒子の処理に適している
- 高い前方真空耐性
- 任意の方向での取り付け
ルートブロワーと組み合わせた1段式回転翼ポンプ。
- 高速ポンプダウンのために設計
- ロードロックおよび配送チャンバ
- 低真空レンジのための堅牢な真空発生器
- 高い信頼性
- コスト最適化
ルートブロワーと組み合わせたドライ圧縮真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
ルートブロワーと組み合わせた1段式回転翼ポンプ。