ライボルトは,三次冶金用途用として(VIM, VARなど),耐久性と信頼性に優れた設計を採用した産業用真空ソリューションを開発しました。このソリューションは非常に高い性能データを実現し,過酷な用途に最適です。
これらの用途では従来,油封式ロータリーベーン真空ポンプ,またはロータリーピストン真空ポンプが使われていました。現在では,防塵性に優れたドライ圧縮スクリューポンプが広く使用されるようになっています。
低い運転圧力で高い排気速度を達成するため,1 ~ 2段のルーツポンプとブースターポンプを直列に配置します。
三分mbar(またはこれよりも低い)のプロセス圧力では,ほとんどの場合,オイルブースターポンプの利用が必要となります。この種類のポンプは,この特定の圧力範囲で標準の排気速度を達成するため,最高のスチール品質を確保できます。

真空システムの課題
——プロセスガス中のダスト
——高いガス吸気口温度
——湿度と刺激性ガスの残留
4 -プロセス圧力が打败mbarまで低下(特定の合金の場合)

真空誘導溶解(VIM)は高級スチールや,特殊金属を真空下の電磁誘導で溶解するために使用されます。誘導炉は,真空チャンバー内にあります。取鍋の大きさは通常,200 ~ 3000公斤です。溶鋼は,その化学特性が高精度で達成されるまで,真空下で精錬されます。不純物は,化学反応,浮選,解離,揮発により除去されます。
VIMプロセスは,ステンレススチール,超合金,磁性合金,電池材料合金,高純度非鉄金属の生産などに使用されます。

真空アーク再溶解(VAR)は,消耗電極を真空下のアークにより,連続して再溶解するために使用されます。
溶融プロセスでは高真空が維持され,不純物を除去して,酸化物の生成を防ぎます。
VARプロセスは,VIMプロセスからの真空溶解インゴットや金属の品質や純度を改善し,疲労耐性や破壊強度が向上されたクリーンで均質の金属を生産するために使用されます。

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