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冷凍幫浦

冷凍幫浦式利用超低溫的物理機制來吸附真空腔體內的氣體，以達到抽氣的效果。其抽氣機制分為:超低溫冷凝(cryocondensation),超低溫吸附(低温吸附)及超低溫捕獲(冷阱)等三種方式。

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