TURBOVAC i/iX系列是涡轮分子真空泵的模块化系列。与集成驱动电子设备(变频器)一起构成一个单元。
该TURBOVAC涡轮分子真空泵与机械转子悬挂使用的压力范围从10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr)到10-10 mbar (0.75 x 10-1 Torr)。抽气速度从35升/秒到2400升/秒不等。
TURBOVAC MAGiNTEGRA涡轮分子真空泵是最紧凑的磁悬浮泵