真空氧脱碳（VOD）通常用于生产不锈钢。与VD工艺相比，VOD处理涉及额外的氧气吹气步骤，以减少可氧化化合物的钢含量为例如。碳或磷光体。氧气流还可用于熔体（VD-OB过程）的化学加热，因为钢含量与氧气的化学反应是放热的。
在脱碳步骤期间，真空系统必须能够在〜50-200毫巴范围内的粗糙度下连续操作，同时除去通常5,000m³/ h至20,000m³/ h的高气体流动。陡峭的步骤可以持续〜10-45分钟。
本申请的主要挑战是在氧气发泡相期间产生的极高大量的灰尘颗粒，在该气流峰旁边具有高浓度的未反应氧气。
在脱碳步骤之后总是要进行真空脱气(VD)步骤，在此步骤中，泵送速度必须在50,000 m³/h到250,000 m³/h之间，工艺压力约为0.67 mbar。
需要灰尘过滤来捕获过程中产生的部分大量灰尘。由于灰尘颗粒通常是闪光，因此必须相应地设计过滤系统。因此，成功使用过滤器设计通常使用“惰性气体吹回清洁”步骤来清洁过滤器表面。
在长时间的氧气吹风过程中粗糙的压力下，离开罐脱气剂的气体也具有高密度，这意味着它们存储大量的热能。为了保护防尘过滤器过热，在吹氧期间，必须在过滤器和罐之间安装气体冷却器。