真空氧脱碳（VOD）通常用于生产不锈钢。与VD工艺相比，VOD处理涉及额外的吹氧步骤，以减少可氧化化合物（例如碳或磷）的钢含量。氧气流也可用于熔体的化学加热（VD-OB工艺），因为钢含量与氧气的化学反应是放热的。
在脱碳步骤中，真空系统必须能够在约50-200 mbar的粗略压力下连续运行，同时去除通常为5000 m³/h至20000 m³/h的高气流。脱碳步骤可持续约10-45分钟。
该应用的主要挑战是吹氧阶段产生的粉尘颗粒数量极高，在气流峰值附近可能存在高浓度的未反应氧。
脱碳步骤始终是真空脱气（Vd）步骤，其中在加工压力下在约0.67毫巴的过程压力下泵送速度在约0.67毫巴的泵送速度之间。
灰尘过滤是为了收集过程中产生的大量灰尘。由于粉尘颗粒通常是自燃的，因此必须相应地设计过滤系统。因此，成功使用的过滤器设计通常使用“惰性气体反吹清洁”步骤清洁过滤器表面。
在长时间的粗压吹氧操作过程中，离开罐式脱气器的气体密度也很高，这意味着它们储存了大量的热能。为了防止灰尘过滤器过热，在吹氧阶段，必须在过滤器和油箱之间安装气体冷却器。