真空吹氧脱碳(VOD)通常用于生产不锈钢。与VD真空脱气法相比,VOD处理包含额外的吹氧步骤,以减少钢中可氧化物(例如碳或磷)的含量。氧气流还可用于对钢液进行化学加热(VD-OB工艺),因为钢中的部分成分与氧气之间的化学反应是放热的。
在脱碳步骤中,真空系统必须能够在约50 - 200 mbar的粗炼压力范围内连续运行,同时要排出通常为5000 m³/ h至20000 m³/ h的高速气流。脱碳步骤可能会持续约 10-45 分钟。
这种应用的主要挑战是吹氧阶段会产生非常大量的粉尘，此外，还可能产生含有高浓度未反应氧气的气流。
脱碳之后始终是真空脱气(VD)步骤,在大约0.67 mbar的工艺压力下,抽真空速度需要达到50000 m³/ h至250000 m³/ h。
过滤器是必须的，以截获在脱气过程时常产生的大量粉尘。由于粉尘颗粒通常有燃烧风险，因此必须合理设计过滤系统。成功的过滤器设计通常采用“惰性气体反吹“步骤来清洁滤芯表面。
在粗真空下长时间的吹氧过程中，离开真空罐的气体也具有较高的密度，这意味着它们会储存大量的热能。为了防止粉尘过滤器过热，吹氧阶段必须在过滤器与真空罐之间安装一个气体冷却器。