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组成真空测量

真空测量与控制

随着各种真空系统和流程,需要测量真空性能。

用于测量这一范围内压力的仪器称为真空计,测量范围从大气压以上(~ 2000 mbar (1500 Torr))到10-12 mbar/ Torr。没有任何单一的传感器技术能够在这个范围内进行测量。

因此,各种不同的真空仪表可用,每个都具有自己的特点和在多十年的真空上测量的能力。为了扩大测量范围,现在将多种技术组合成单个仪表以减少系统所需的连接。

区分真空计类型的主要方式是它们如何测量气体:直接或间接压力测量。

  • 在…的情况下直接(或气体无关)压力测量,通过真空计获得的读数与气体类型无关,给出的压力总是系统的真实压力。通常依靠薄膜的机械偏转,这些仪器能够测量从高于大气压力到10的压力-4mbar / torr。这些规格类型将在短程范围内提供高精度,通常非常强大。
  • 在…的情况下间接压力测量,压力被确定为气体的压力依赖性(例如,导热,电离概率)的函数。这些性质不仅取决于压力,而且依赖于气体的摩尔质量。因此,这些也称为气体依赖性。读数通常涉及空气或氮作为测量气体。为了测量其他蒸气或气体,必须应用相应的校正因子用于系统的真正压力。这些仪表能够在更宽的范围内压力测量(大气压至10 x 10-12母栏依赖于类型/组合),权衡是较低的准确度。

真空仪表上的另一个常见决策点是活跃的或被动的,在我们的宽量程真空压力表中可以提供这种选择。

  • 主动测量是仪表头(传感器头)与控制和输出信号所需的电子设备相结合,使得能够轻松地集成到系统。
  • 被动测量是仪表头与电子元件分开的地方,然后电子元件被单独保存在一个专用控制器中。这样做的优点是,它们可以在电子设备无法正常工作的环境中使用,比如高辐射环境,并且可以将单独的控制器从该环境中移除。

广泛的真空测量

宽压范围内的鲁棒性,可靠性和准确的压力测量。

  • Thermovac TTR / TR系列-完全适用于监测标准主/背泵压力。
  • PENNINGVAC PTR / PR系列-可在高真空区域测量,这些可称为全量程仪表。
  • IONIVAC ITR / IE系列- 进一步将真空范围延伸成超高真空压力。

精密真空测量

对于最高的准确性和重复性,在最恶劣的环境中,这些非常适合详细系统控制。

  • CERAVAC CTR真空计- 电容压力计量表的顶部。
  • DI/DU真空计精度水平略低,但适用于肮脏/潮湿/多尘的环境。

真空泵和压力表控制器

为您提供显示压力的能力,并将其测量集成到更广泛的控制系统中。我们有一系列控制器可根据具体要求选择。

便携式和机械式真空计

具有具有集成显示器的仪表,电池供电,使您能够在任何地方测量。当您只需要绘制真空的指示,而不是精确测量时,机械表盘仪也是理想的。

配件

我们提供将仪表连接到我们的控制器和系统所需的所有电缆。我们还携带一系列挡板和过滤器,可以安装以进一步增加稳定过程的仪表寿命。

我们还可以帮助您校准仪表。

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