残余气体分析仪
LEYSPEC
LEYSPEC残余气体分析仪(RGA)产品系列使操作简单直观。
按下一个按钮，就可以显示关键气体的分压，如果过程中涉及到额外的气体，可以将其分配到备用显示通道。
由于可以达到很高的烘烤温度，LEYSPEC是高真空和超高真空应用的理想选择。
工作原理
测量单元是热阴极电离真空计。电子从热灯丝发出，并通过电偏压向光源加速。快速移动的电子与气体分子碰撞，使电子移位，从而使它们电离。正的气体离子向负电荷离子收集器提供电流。离子电流与压力成正比。离子越多，离子电流越大。四极阵列由四根不锈钢棒组成。直流电和高频电压适用于所有杆。这就形成了一个复杂的磁场。通过改变电压，可以控制磁场。
由此产生的振动只允许特定质量的离子“飞”过它，到达检测部分:
- 具有适当质量与电荷比(m/e)的离子将在稳定的三维轨道中振荡穿过两极。
- m/e不正确的离子会失去控制地振荡并与磁极相撞
离子到达离子收集器并提供输出电流，该电流是通过过滤器的离子相对丰度的测量值。离子电流或相对于m/z比率的分压，然后显示在单位或软件中。
LEYSPEC RGA基于上述工作原理，通过寻找并显示气体成分来验证气体纯度。这使得LEYSPEC能够识别气体污染物，并进行进一步的工艺和设备控制，以实现工艺性能和产量的总体优化。
一体机，操作简单直观
由于其高灵敏度LEYSPEC残余气体分析仪允许检测非常小的污染物或工艺气体的痕迹。产品范围有100,200和300 amu的解决方案。在恶劣环境下，烘焙温度可高达300°C。
LEYSPEC可以采用自己的软件和集成的控制和显示单元，操作直观．简单的残余气体分析不需要与计算机连接。关键气体可以显示在一个按钮和备用显示可用，以便其他气体可以显示。
它们也适用于高真空系统中要求苛刻的测试程序和残留气体分析。
使用LEYSPEC的预装功能，如氦气泄漏测试，可选气体的警告和错误级别，以及启动或排气后的排气功能，这款残余气体分析仪是任何系统的一个伟大的补充。
LEYSPEC购物车
移动残留物分析仪系统
LEYSPEC车携带一个完全集成的差动泵系统，最大限度的灵活性和易于操作。
这是一种完全独立的泵送系统，可以很容易地适应各种测量任务，在各种压力下具有快速的操作准备和可操作性。
我们的解决方案:
- 独立泵送系统SCROLLVAC 7 +和350年TURBOVAC我
- 集成的过程控制，快速简便的操作
- 简单和直观的软件LEYSPEC RGA
- 完全集成在一个独立的移动手推车
- 特高压针形阀，可在不同压力等级及大气压下灵活操作
特性
- 紧凑和简单
- 直观的软件
- 高灵敏度
- 灵活的
- 先进的功能
- 高烘焙
紧凑和简单
所有产品都配有集成显示器，操作简单快捷，LEYSPEC软件可用于复杂的测试程序和残留气体分析。LEYSPEC系列产品尺寸紧凑，可在任何方向上安装，非常适合不同的内置情况。
LEYSPEC残余气体分析仪界面直观，操作方便。按下一个按钮，就可以显示关键气体的分压，如果过程中涉及到额外的气体，可以将其分配到备用显示通道。
直观的软件
智能和直观的LEYSPEC软件完成了提供。用户友好的界面允许广泛的用例，从简单的操作到复杂的分析。创建食谱就像它应该的那样简单:快捷方便。
在运行过程中，总压力显示，并可以选择不同的视图，以适应视图的分析目的。选择扫描模式，趋势模式或模拟模式。
高灵敏度
LEYSPEC产品系列为准确的残留气体分析提供了很高的灵敏度。这允许检测甚至非常小的污染物或工艺气体的痕迹。
LEYSPEC通过发现和显示气体的成分来验证气体的纯度。因此，气体污染物被识别，进一步的过程和设备控制，以全面优化过程性能和产量被执行。
灵活的
新的LEYSPEC系列是任何质谱应用的完美解决方案。专注于残余气体分析，根据工艺要求，该产品系列可提供100、200或300 amu的解决方案。
先进的功能
预先安装的软件功能允许许多额外的功能和测试程序，如氦气泄漏测试或设置警告和错误级别的选择气体。实现了一种可编程的脱气功能，用于启动或暴露在大气中后的简单工艺脱气。背景抑制允许聚焦在重要的峰值上。
高烘焙
由于其高达300°C的高温烘烤，LEYSPEC ultra非常适合复杂的高真空和超高真空应用。LEYSPEC超范围提供非常高的烘烤温度，因此即使在恶劣的环境下也可以进行可靠的气体分析。
LEYSPEC RGA提供了一个非常高的灵敏度结合直观的软件，允许所有的基本和高级测试程序
